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产品名称:

AIXTRON机台测温仪EX-C-7FL

描述:AIXTRON机台测温仪EX-C-7FL系BASF生产的高精度蓝宝石光管高温计,被用作用作AIXTRON G3,G4,G5 MOCVD机台底部的测温系统(BOTTOM TEMPERATURE MONITOR)。
访问次数: 746
更新时间: 2025-04-09

产品介绍

主要特点

  • 使用短波进行低温测量

  • 精密度高, 分辨率达 0.01 oC , 测温精度1.5 oC

  • 测温重复性 0.1 oC , 温漂不高于 0.1 oC / 年

  • 测量速度达 1,000 值 / 秒

  • 数字/或模拟输出, 易于集成到控制系统




详细说明

AIXTRON机台测温仪EX-C-7FL系BASF生产的高精度蓝宝石光管高温计,被用作用作AIXTRON G3,G4,G5 MOCVD机台底部的测温系统(BOTTOM TEMPERATURE MONITOR)。

AIXTRON机台测温仪EX-C-7FL包含EI110传感器,光纤,蓝宝石光管,IFD5数字模块,IFA5模拟模块,配套线缆等,测温范围覆盖100-1800℃,精度高达1.5℃, 重复性0.1℃。

BASF Exactus®系列测温仪已广泛用于快速退火、快速氧化、薄膜沉积等半导体工艺,并被集成在多家MOCVD设备以及其他RTP设备上如:AIXTRON, LPE,Premtek等。另外,由于其具有很高的测温精度和稳定性,也被一些高温黑体炉厂家作为温度标准器使用,如Thermogauge公司。

典型应用

  • RTP控温

  • MOCVD控温

  • MBE控温

  • 温度标准器



技术参数

测量参数
温度范围:

100 – 1800℃

工作波长:

1550nm

测量精度:优于1.5℃ 或 0.15%测值
分辨率:

最高0.01℃

重复精度:0.1℃
温度漂移:最大 0.10℃/年
环境: 0.05℃/℃ @ 20-45℃, 0.10℃/℃ @ 其它温度
镜头:蓝宝石光管
物理参数
供电:12-28 VDC, 3W
存储温度:-20 to 70℃
环境温度:

电子器件: 0 - 60℃
恶劣环境下专用镜头: 0 - 250℃
高温光纤: 0 - 250℃

外壳材质:传感器和镜头外壳,304 不锈钢/铝;
气吹外壳,铝;
恶劣环境专用镜头: 304 不锈钢;
重量:标准高温计,0.510 kg (1.125 lbs.)
光纤传感器,0.198 kg (7 oz.)









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