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产品中心产品介绍
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AIXTRON机台测温仪EX-C-7FL系BASF生产的高精度蓝宝石光管高温计,被用作用作AIXTRON G3,G4,G5 MOCVD机台底部的测温系统(BOTTOM TEMPERATURE MONITOR)。
AIXTRON机台测温仪EX-C-7FL包含EI110传感器,光纤,蓝宝石光管,IFD5数字模块,IFA5模拟???,配套线缆等,测温范围覆盖100-1800℃,精度高达1.5℃, 重复性0.1℃。
BASF Exactus®系列测温仪已广泛用于快速退火、快速氧化、薄膜沉积等半导体工艺,并被集成在多家MOCVD设备以及其他RTP设备上如:AIXTRON, LPE,Premtek等。另外,由于其具有很高的测温精度和稳定性,也被一些高温黑体炉厂家作为温度标准器使用,如Thermogauge公司。
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测量参数 | |
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温度范围: | 100 – 1800℃ |
工作波长: | 1550nm |
测量精度: | 优于1.5℃ 或 0.15%测值 |
分辨率: | 最高0.01℃ |
重复精度: | 0.1℃ |
温度漂移: | 最大 0.10℃/年 环境: 0.05℃/℃ @ 20-45℃, 0.10℃/℃ @ 其它温度 |
镜头: | 蓝宝石光管 |
物理参数 | |
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供电: | 12-28 VDC, 3W |
存储温度: | -20 to 70℃ |
环境温度: | 电子器件: 0 - 60℃ |
外壳材质: | 传感器和镜头外壳,304 不锈钢/铝; 气吹外壳,铝; 恶劣环境专用镜头: 304 不锈钢; |
重量: | 标准高温计,0.510 kg (1.125 lbs.) 光纤传感器,0.198 kg (7 oz.) |
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